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半導(dǎo)體是一個龐大的產(chǎn)業(yè)，從大類上講，包括集成電路(IC)、光電子、分離器和傳感器等，那半導(dǎo)體泵就是用在光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、半導(dǎo)體制造、光伏太陽能電池、發(fā)光二級管(LED)、平板顯示器和電子產(chǎn)品上的一種泵，在行業(yè)中也叫風(fēng)囊泵。
采用壓縮空氣為動力，內(nèi)部囊體往復(fù)運動，帶動液體輸送的一種泵體。風(fēng)囊的泵腔分為兩個工作腔，每個工作腔分為氣相工作腔和液相工作腔兩部分，壓縮空氣進(jìn)入泵的氣相工作腔后，壓縮風(fēng)囊變形移動，通過換向閥控制壓縮空氣依次進(jìn)入兩個氣相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，實現(xiàn)對液體的輸送。
目前國內(nèi)市場上主流的半導(dǎo)體上的用的泵浦品牌有：美國(WHITEKNIGHT)白騎士、美國TREBOR，德國(ALMATEC)阿邁德，瑞士LEVITRONIX，日本(IWAKI)易威奇、日本(PILLAR)皮拉，法國(FURON)圣戈班等。大部分都是國外品牌，真正國內(nèi)自主品牌寥寥無幾。
據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，美國白騎士和日本易威奇這兩家老牌風(fēng)囊泵在中國市場占有率達(dá)到70%左右。但受疫情及其它因素影響，上述這幾個國外品牌的風(fēng)囊泵供貨期非常長，有的型號甚至需要等一兩年才能供貨，價格也是居高不下。這嚴(yán)重影響到了國內(nèi)半導(dǎo)體及光伏企業(yè)的生產(chǎn)進(jìn)度。也導(dǎo)致上述幾個國外品牌的風(fēng)囊泵市場份額逐年遞減
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